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Co2激光反射镜硅基片 |
详 细 介 绍: |
硅单晶是优良的激光反射镜材料。相比较于其他反射镜材料如铜和钼,硅单晶由于其良好的导热性、优良的热稳定性、较低的热膨胀系数以及密度相对较低、成本低,易于精密加工等优势,目前是CO2激光器反射镜首选的基底材料。
我公司生产的CO2激光反射镜基片基本参数如下:
材料: 单晶硅
纯度: 99.999%
生长方式:直拉(CZ)
导电类型:P型(掺硼) or N型(掺磷)
晶向:<100> or <111>
电阻率:< 1 ohm.cm
密度:2.33g/cm3
熔点:1410 C
线性膨胀系数:(2~9)×10-6 K-1
外圆:滚磨W40砂轮 / 研磨W20砂/ 粗抛光
倒角:根据需要
直径公差(D):0.05mm-0.1mm
厚度公差:0.1mm
ETV:<0.02mm
常用规格:
Discription
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Diameter (inches)
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Diameter (mm)
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Thickness (inches)
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Thickness (mm)
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silicon blank
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0.5
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12.7
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0.13
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3.3
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silicon blank
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0.787
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20
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0.13
|
3.3
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silicon blank
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1
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25.4
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0.134
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3.4
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silicon blank
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1.1
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28
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0.382
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9.703
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silicon blank
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1.5
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38.1
|
0.382
|
9.703
|
silicon blank
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2
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50.8
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0.21
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5.334
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silicon blank
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2.677
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67.996
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0.807
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20.498
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silicon blank
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3
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76.2
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0.26
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6.604
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silicon blank
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4
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100
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0.7874
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20
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silicon blank
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6
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150
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0.917
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23.29
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